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技術(shù)文章

精密平臺的好處
精密平臺：
         平面三自由度精密定位平臺，包括輸出平臺、基座、三個柔順機(jī)構(gòu)、三個壓電驅(qū)動器、三個驅(qū)動器定位裝置、三個位移傳感器和控制器。本實(shí)用新型由于三個柔順機(jī)構(gòu)以及三個位移傳感器沿輸出平臺中心向外呈 120°角分布，保證了運(yùn)動傳遞的無間隙、無摩擦、免潤滑、高精度性和高穩(wěn)定性，并且提高了輸出平臺移動的直線度；由于采用了柔順機(jī)構(gòu)，不僅使得輸出平臺能同時提供X、Y方向平移，Z方向旋轉(zhuǎn)，而且使得輸出平臺和基座都在同一層次上；精密平臺采用壓電陶瓷驅(qū)動器作為壓電驅(qū)動器，保證了驅(qū)動源的高精度運(yùn)動輸出和快的響應(yīng)速度，具有納米級的分辨率和亞微米級的定位精度，本實(shí)用新型可廣泛應(yīng)用于精密定位領(lǐng)域。
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